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(1)空化作用：空化作用就是超聲波以每秒兩真空超音波清洗機萬次以上的壓縮力和減壓力交互性的高頻變換方式向液體進行透射。在減壓力作用時，液體中產生真空核群泡的現像，在壓縮力作用時，真空核群泡受壓力壓碎時產生強大的衝擊力，由此剝離被清洗物表面的污垢，從而達到精密洗淨目的。 點擊此處添加圖片說明
(2)直進流作用：超聲波在液體中沿聲的傳播方向產生流動的現像稱為直進流。真空超音波清洗機聲波強度在0、5W/cm2時，肉眼能看到直進流，垂直於振動面產生流動，流速約為10cm/s。通過此直進流使被清洗物表面的微油污垢被攪拌，污垢表面的清洗液也產生對流，溶解污物的溶解液與新液混合，使溶解速度加快，對污物的搬運起著很大的作用。
(3)加速度：液體粒子推動產生的加速度。對於頻率較高的超聲波清洗機，真空超音波清洗機空化作用就很不顯著了，這時的清洗主要靠液體粒子超聲作用下的加速度撞擊粒子對污物進行超精密清洗。
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